1. Solvothermal ပေါင်းစပ်မှု
1. ကုန်ကြမ်းပစ္စည်းအချိုးအစား့
ဇင့်အမှုန့်နှင့် ဆီလီနီယမ်အမှုန့်ကို 1:1 အံသွားအချိုးဖြင့် ရောစပ်ထားပြီး၊ အိုင်းယွန်းပြုသောရေ သို့မဟုတ် အီသလင်း ဂလိုင်ကောကို ရောနှောပါဝင်သည့် အလတ်စား 35 အဖြစ် ထည့်သွင်းထားသည်။.
၂။တုံ့ပြန်မှုအခြေအနေများ
o တုံ့ပြန်မှုအပူချိန် 180-220°C
o တုံ့ပြန်မှုအချိန်: 12-24 နာရီ
o ဖိအား- အပိတ်တုံ့ပြန်မှု ရေနွေးအိုးထဲတွင် ကိုယ်တိုင်ထုတ်လုပ်ထားသော ဖိအားကို ထိန်းသိမ်းပါ။
ဇင့်နှင့် ဆီလီနီယမ်၏ တိုက်ရိုက်ပေါင်းစပ်မှုကို နာနိုစကေး ဇင့်ဆယ်လီနိုက်ပုံဆောင်ခဲများ 35 ထုတ်လုပ်ရန် အပူပေးခြင်းဖြင့် ကူညီပေးသည်။.
၃။ကုသမှုလွန်လုပ်ငန်းစဉ့်
တုံ့ပြန်မှုပြီးနောက်၊ ၎င်းကို ဗဟိုပြု၍ အအေးခံထားသော အမိုးနီးယား (80°C)၊ မီသနော၊ နှင့် ဖုန်စုပ်စက် (120°C၊ P₂O₅) ဖြင့် ဆေးကြောပါ။btainအမှုန့် > 99.9% သန့်စင်မှု ၁၃.
2. Chemical vapor deposition နည်းလမ်း
၁။ကုန်ကြမ်း လိမ်းဆေး
o သွပ်ကုန်ကြမ်း၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည် ≥ 99.99% ရှိပြီး ဂရပ်ဖိုက်အတုံးထဲတွင် ထည့်ထားသည်။
o ဟိုက်ဒရိုဂျင် ဆီလီနိုက်ဓာတ်ငွေ့ကို အာဂွန်ဓာတ်ငွေ့သယ်ဆောင်ခြင်း ၆။
၂။အပူချိန်ထိန်း
o ဇင့်ရေငွေ့ပျံဇုန်: 850-900°C
o Deposition zone: 450-500°C
ဇင့်အခိုးအငွေ့နှင့် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဆီလီနိုက်တို့ကို အပူချိန် gradient ဖြင့် ညွှန်ပြခြင်း ၆။
၃။ဓာတ်ငွေ့ဘောင်များ
o Argon စီးဆင်းမှု- 5-10 L/min
o ဟိုက်ဒရိုဂျင် ဆီလီနိုက်၏ တစ်စိတ်တစ်ပိုင်း ဖိအား-0.1-0.3 atm
သိုလှောင်မှုနှုန်းသည် 0.5-1.2 မီလီမီတာ/နာရီအထိ ရောက်ရှိနိုင်ပြီး 60-100 မီလီမီတာ အထူ polycrystalline ဇင့်ဆယ်လီနိုက် 6 ကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။.
3. Solid-phase တိုက်ရိုက်ပေါင်းစပ်နည်း
1. ကုန်ကြမ်းပစ္စည်းကိုင်တွယ့်
ဇင့် ကလိုရိုက် ပျော်ရည်သည် ဇင့် oxalate precipitate ကို အခြောက်လှန်းပြီး မြေနှင့် 1:1.05 အံသွား 4 အချိုးတွင် ဆီလီနီယမ်အမှုန့်နှင့် ရောစပ်ထားသည့် ဇင့် oxalate အက်ဆစ်ရည်ဖြင့် တုံ့ပြန်ခဲ့သည်။.
၂။အပူတုံ့ပြန်မှုဘောင်များ
o ဖုန်စုပ်ပြွန်မီးဖိုအပူချိန်- 600-650°C
o နွေးထွေးသောအချိန်: 4-6 နာရီထားပါ။
အမှုန်အရွယ်အစား 2-10 μm ရှိသော ဇင့်ဆီလီနိုက်အမှုန့်ကို အစိုင်အခဲအဆင့် ပျံ့နှံ့မှုတုံ့ပြန်မှု 4 ဖြင့် ထုတ်လုပ်သည်။.
အဓိကလုပ်ငန်းစဉ်များကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။
| နည်းလမ်း | ထုတ်ကုန်မြေမျက်နှာသွင်ပြင် | အမှုန်အမွှားအရွယ်အစား/အထူ | ကြည်လင်ခြင်း။ | လျှောက်လွှာနယ်ပယ်များ |
| Solvothermal နည်းလမ်း ၃၅ | နာနိုဘော/ချောင်းများ | 20-100 nm | Cubic sphalerite | Optoelectronic ကိရိယာများ |
| အငွေ့ထွက်ခြင်း ၆ | Polycrystalline တုံးများ | 60-100 မီလီမီတာ | ဆဋ္ဌဂံပုံသဏ္ဍာန် | အနီအောက်ရောင်ခြည်အလင်း |
| Solid-phase နည်းလမ်း ၄ | မိုက်ခရိုအရွယ်အမှုန့်များ | 2-10 μm | ကုဗအဆင့် | အနီအောက်ရောင်ခြည်သုံး ရှေ့ပြေးနိမိတ်များ |
အထူးလုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှု၏အဓိကအချက်များ- solvothermal နည်းလမ်းသည် morphology 5 ကိုထိန်းညှိရန် oleic acid ကဲ့သို့သော surfactants များထည့်ရန်လိုအပ်ပြီး အငွေ့ထွက်ခြင်း 6 ၏တူညီမှုကိုသေချာစေရန် substrate roughness < Ra20 ဖြစ်ရန်လိုအပ်ပါသည်။.
1. ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အငွေ့ထွက်ခြင်း (PVD).
၁။နည်းပညာလမ်းကြောင်း
o Zinc selenide ကုန်ကြမ်းသည် လေဟာနယ်တွင် အငွေ့ပျံပြီး sputtering သို့မဟုတ် အပူငွေ့ပျံခြင်းနည်းပညာကို အသုံးပြု၍ အလွှာ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်သို့ အပ်နှံသည်။
o ဇင့်နှင့် ဆီလီနီယမ်၏ အငွေ့ပျံခြင်း အရင်းအမြစ်များကို မတူညီသော အပူချိန် gradients (ဇင့်ရေငွေ့ပျံဇုန်- 800-850 °C၊ ဆယ်လီနီယမ် ရေငွေ့ပျံဇုန်- 450-500 °C)၊ နှင့် stoichiometric အချိုးအစားကို ထိန်းချုပ်ပြီး ရေငွေ့ပျံနှုန်းကို ထိန်းချုပ်ထားသည်။့၁၂။
၂။ကန့်သတ်ထိန်းချုပ်မှု
o ဖုန်စုပ်စက်- ≤1×10⁻³ Pa
o Basal အပူချိန် 200-400°C
o ဖြစ်ထွန်းနှုန်း-0.2–1.0 nm/s
အထူ 50 မှ 500 nm ရှိသော ဇင့်ဆယ်လီနိုက်ရုပ်ရှင်များကို အနီအောက်ရောင်ခြည် အလင်းတန်း 25 တွင် အသုံးပြုရန် ပြင်ဆင်နိုင်သည်။.
2. Mechanical Ball ကြိတ်နည်းစနစ်
၁။ကုန်ကြမ်း ကိုင်တွယ်ခြင်း။
o ဇင့်အမှုန့် (purity≥99.9%) ကို ဆီလီနီယမ်အမှုန့်နှင့် 1:1 အံသွားအချိုးဖြင့် ရောစပ်ပြီး သံမဏိဘောလုံးကြိတ်စက် 23 ဘူးထဲသို့ ထည့်ပါ။.
၂။လုပ်ငန်းစဉ်ဘောင်များ
o ဘောလုံးကြိတ်ချိန်- 10-20 နာရီ
အမြန်နှုန်း: 300-500 rpm
o Pellet အချိုး: 10:1 (Zirconia ကြိတ်ဘောလုံးများ)။
50-200 nm အမှုန်အရွယ်အစားရှိသော ဇင့်ဆီလီနိုက် နာနိုအမှုန်များကို စက်ယန္တရားအလွိုင်းတုံ့ပြန်မှုများဖြင့် ထုတ်ပေးခဲ့ပြီး သန့်စင်မှု > 99% 23.
3. Hot pressing sintering နည်းလမ်း
၁။ကြိုတင်ပြင်ဆင်မှု
o ဇင့် selenide နာနိုမှုန့် (အမှုန်အရွယ်အစား < 100 nm) ကုန်ကြမ်းအဖြစ် solvothermal နည်းလမ်းဖြင့် ပေါင်းစပ်ထုတ်လုပ်ထားသော 4.
၂။Sintering ဘောင်များ
o အပူချိန် 800-1000°C
o ဖိအား: 30-50 MPa
o နွေးအောင်ထားပါ။ 2-4 နာရီထားပါ။
ထုတ်ကုန်၏သိပ်သည်းဆသည် > 98% ရှိပြီး အနီအောက်ရောင်ခြည်ပြတင်းပေါက်များ သို့မဟုတ် မှန်ဘီလူး 45 ကဲ့သို့သော ကြီးမားသောပုံစံ optical အစိတ်အပိုင်းများအဖြစ် လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။.
4. Molecular beam epitaxy (MBE).
၁။အလွန်မြင့်မားသော လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်
o ဖုန်စုပ်စက်- ≤1×10⁻⁷ Pa
o ဇင့် နှင့် ဆီလီနီယမ် မော်လီကျူး ရောင်ခြည်များသည် အီလက်ထရွန် အလင်းတန်းမှ ရေငွေ့ပျံခြင်း အရင်းအမြစ် မှတဆင့် စီးဆင်းမှုကို တိကျစွာ ထိန်းချုပ်သည်။
၂။ကြီးထွားမှုကန့်သတ်ချက်များ
o အခြေခံအပူချိန်- 300–500°C (GaAs သို့မဟုတ် နီလာအလွှာများကို အများအားဖြင့်အသုံးပြုသည်)။
o ကြီးထွားနှုန်း-0.1–0.5 nm/s
တစ်ခုတည်းသောသလင်းခဲသွပ်ဆယ်လီနိုက်ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များကို 0.1-5 μm အထူအကွာအဝေးတွင် တိကျသော optoelectronic ကိရိယာများအတွက် ပြင်ဆင်နိုင်သည်56.
ပို့စ်အချိန်- ဧပြီလ ၂၃-၂၀၂၅